沈(shen)陽芯源微電子(zi)設(she)備股份有限公司成立于(yu)2002年(nian),是由中(zhong)科(ke)院沈(shen)陽自動化研(yan)究所發起(qi)創建的國(guo)家高新技(ji)術企業,專業從(cong)事半導體(ti)生(sheng)產(chan)設(she)備的研(yan)發、生(sheng)產(chan)、銷售(shou)與(yu)服務,致(zhi)力于(yu)為客戶(hu)提供半導體(ti)裝備與(yu)工藝整(zheng)體(ti)解決方(fang)案。
2002年成立
公司3大廠區14萬平方米
332項授權專利
芯(xin)(xin)(xin)源(yuan)公(gong)司(si)(si)總(zong)部位于沈陽市渾南(nan)區,在(zai)上海、日本(ben)設有(you)(you)子公(gong)司(si)(si)。公(gong)司(si)(si)總(zong)部占地(di)4萬平米,擁有(you)(you)專(zhuan)業的(de)(de)(de)(de)集(ji)成(cheng)電路工藝開發(fa)(fa)和(he)檢測(ce)實驗室(shi)以及(ji)半導體設備生產(chan)組裝(zhuang)車(che)間(jian)。芯(xin)(xin)(xin)源(yuan)公(gong)司(si)(si)通(tong)過多年(nian)技(ji)術積累、創新(xin)提(ti)高(gao),形成(cheng)自主(zhu)知(zhi)識產(chan)權體系(xi),公(gong)司(si)(si)共獲得專(zhuan)利授權 332 項(xiang),其中發(fa)(fa)明專(zhuan)利199項(xiang),實用(yong)(yong)(yong)(yong)新(xin)型專(zhuan)利95項(xiang),外觀設計專(zhuan)利 38 項(xiang);擁有(you)(you)軟(ruan)件著(zhu)作權 96 項(xiang)。主(zhu)持制(zhi)(zhi)定(ding)了(le)行(xing)業標準《噴(pen)霧式涂覆(fu)設備通(tong)用(yong)(yong)(yong)(yong)規范(fan)》、《旋轉式涂覆(fu)設備通(tong)用(yong)(yong)(yong)(yong)規范(fan)》。沈陽芯(xin)(xin)(xin)源(yuan)公(gong)司(si)(si)作為國內領先的(de)(de)(de)(de)高(gao)端半導體裝(zhuang)備制(zhi)(zhi)造(zao)(zao)企(qi)業,所開發(fa)(fa)的(de)(de)(de)(de)涂膠機、顯影機、噴(pen)膠機、去(qu)膠機、濕(shi)法(fa)刻蝕機、單(dan)片清洗(xi)機等(deng)產(chan)品,已(yi)形成(cheng)完整的(de)(de)(de)(de)技(ji)術體系(xi)和(he)豐(feng)富的(de)(de)(de)(de)產(chan)品系(xi)列,可(ke)根據用(yong)(yong)(yong)(yong)戶(hu)的(de)(de)(de)(de)工藝要求(qiu)量身定(ding)制(zhi)(zhi)。產(chan)品適應不同工藝等(deng)級的(de)(de)(de)(de)客戶(hu)要求(qiu),廣泛應用(yong)(yong)(yong)(yong)于半導體生產(chan)、高(gao)端封裝(zhuang)、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等(deng)領域。可(ke)滿足300mm前道制(zhi)(zhi)程(cheng)及(ji)300mm先進封裝(zhuang)厚膠工藝制(zhi)(zhi)程(cheng)。芯(xin)(xin)(xin)源(yuan)公(gong)司(si)(si)連(lian)續承(cheng)擔(dan)國家02科技(ji)重大專(zhuan)項(xiang)《極大規模(mo)集(ji)成(cheng)電路制(zhi)(zhi)造(zao)(zao)裝(zhuang)備及(ji)成(cheng)套工藝》項(xiang)目,連(lian)續兩年(nian)被評為中國半導體行(xing)業十強企(qi)業。
2019年12月16日(ri),芯源(yuan)公司在(zai)上(shang)交所科創板(ban)上(shang)市,成為“遼寧省科創板(ban)第一股”。借力(li)資(zi)本市場,芯源(yuan)將加速提升企業(ye)的創新能力(li)和(he)產(chan)品成套(tao)能力(li),以先進(jin)可靠的產(chan)品和(he)優質服(fu)務贏得客(ke)戶信(xin)賴,為客(ke)戶提供(gong)先進(jin)的半(ban)導體設(she)備(bei),成為全球半(ban)導體設(she)備(bei)領先企業(ye),助推產(chan)業(ye)技術進(jin)步。